нагревательный реактор MocVD с индукцией
Реакторы металлоорганического химического осаждения из паровой фазы (MOCVD) с индукционным нагревом — это технология, направленная на повышение эффективности нагрева и уменьшение вредной магнитной связи с входом газа. Обычные реакторы MOCVD с индукционным нагревом часто имеют индукционную катушку, расположенную вне камеры, что может привести к менее эффективному нагреву и потенциальным магнитным помехам в системе подачи газа. Недавний … Читать далее